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質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器的簡(jiǎn)單介紹
發(fā)布時(shí)間:2016-01-06瀏覽次數(shù):1773返回列表
質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器的簡(jiǎn)單介紹
什么是質(zhì)量流量計(jì),什么是質(zhì)量流量控制器呢?質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么呢?下面氣體檢測(cè)儀器網(wǎng)的詳細(xì)為你講解:
質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller(縮寫為MFC), 不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能,重要的是,它能自動(dòng)控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化,也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。簡(jiǎn)單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置, 是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。
質(zhì)量流量計(jì),即Mass Flow Meter(縮寫為MFM), 是一種測(cè)量氣體流量的儀表,其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn),不需要溫度壓力補(bǔ)償。
質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器的優(yōu)點(diǎn)
(1)流量的測(cè)量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)。
對(duì)于多數(shù)流量測(cè)控系統(tǒng)而言,很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對(duì)于普通的流量計(jì),壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差;對(duì)于質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器,則一般可以忽略不計(jì)。
(2)測(cè)量控制的自動(dòng)化
質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動(dòng)計(jì)量﹑數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄﹑計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)質(zhì)量流量控制器而言,還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為0~+5V或4~20mA, 數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口, 能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接, 進(jìn)行自動(dòng)控制。
(3)地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對(duì)很多工藝過程的流量控制﹑對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。
(4)適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體,如HCL);有很寬的流量范圍,我們的產(chǎn)品小流量范圍可達(dá)0~5 sccm,大流量范圍可達(dá)0~200 slm。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2~ (量程比為-- 50:1), 因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。