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上海硅酸鹽鹽研所中標(biāo)四探針測(cè)試臺(tái) ST-102E

發(fā)布時(shí)間:2015-09-14瀏覽次數(shù):1698返回列表


四探針測(cè)試臺(tái)   北京恒奧德公司四探針測(cè)試儀  型號(hào)ST-102
顯微鏡和USB接口CCD攝像頭共存的監(jiān)視方式


ST-102E型探針測(cè)試臺(tái)(英文叫Prober station,中文又稱中測(cè)臺(tái),點(diǎn)測(cè)機(jī)。)、
與測(cè)試儀器配接后可用于集成電路芯片及晶體管芯的電參數(shù)測(cè)試及功能調(diào)試,適用于科研、新品試制及小批量的中間測(cè)試。

技 術(shù) 指 標(biāo)

工作臺(tái)面
370mm*245mm
載物臺(tái)直徑
4"
可選二種放大倍數(shù)
*14-90倍連續(xù)變倍;
*17.5-112.5倍連續(xù)變倍;
監(jiān)視方式
顯微鏡和USB接口CCD攝像頭共存的監(jiān)視方式
光學(xué)參數(shù)
手輪調(diào)焦范圍:60mm;升降調(diào)焦范圍:200mm;
旋轉(zhuǎn)臺(tái)

粗調(diào)范圍:360°;微調(diào)范圍:±10°;小刻劃:1°;
銅盤(pán)直徑:Φ85mm;緣盤(pán)直徑:Φ102mm

三維探針座
探針座X、Y、Z方向調(diào)節(jié)范圍:±3.25mm,分辨率±2μ;
三維探針座在工作臺(tái)面可任意位置固定,由磁性開(kāi)關(guān)控制;
多可布三維探針座6個(gè);
探針臂伸出長(zhǎng)度:60mm;
探針長(zhǎng)度:40mm;
探針
探針材質(zhì)硬質(zhì)合金,針尖曲率半徑2μm;


標(biāo)準(zhǔn)配置
:主工作臺(tái)、顯微鏡、USB接口CCD攝像頭、三維微調(diào)座2個(gè)、探針臂2支、探針2支。
可選配件:三維微調(diào)架、探針臂、探針、真空泵。