1、測量原理：觸針法，電感傳感器
2、驅(qū)動(dòng)箱水平滑行范圍：100mm；
3、驅(qū)動(dòng)箱滑行速度：0.1,0.2,0.5,0.8,1mm/s；
4、傳感器返回形式：手動(dòng)，自動(dòng)；
5、基準(zhǔn)導(dǎo)軌的直線性：1μm/任意40mm；
6、驅(qū)動(dòng)箱升降：滾動(dòng)絲杠升降系統(tǒng)，機(jī)動(dòng)升降，自動(dòng)對準(zhǔn)零位；
7、立柱垂直測量高度：
  粗糙度系統(tǒng)：300mm；
  形狀系統(tǒng)：240mm;
8、工作臺結(jié)構(gòu)：500mm×620mm大理石平臺，雙T形槽；
9、形狀測量系統(tǒng)：
1) 測量范圍：垂直4/20mm，水平100mm；
2) 測量精度：垂直0.3%，水平0.03%；
3) 垂直分辨力：0.25μm/4mm，1.25μm/20mm；
4) 水平分辨力：1μm ；
5) 測量參數(shù)：垂直距離，水平距離，兩直線夾角，圓弧半徑，倒角寬度，圓心-端面、圓心-圓心、直線交點(diǎn)-直線交點(diǎn)、點(diǎn)-直線距離；
6) 水平放大倍率：2，5，10，20，50，100，200，500；
7) 垂直放大倍率：10，20，50，100，200，500，1000，2000；
8) 傳感器測桿長：150mm；
9) 測針長度：22mm；
10) 針尖角度：11°；
11) 針尖半徑：25μm；
12) 測力：0.02-0.06N；
13) 傳感器滑行角度：上升角≤77°，下降角≤88°。
10、粗糙度測量系統(tǒng)
1) 量程：16/160μm；
2) 示值精度：≤±5%；
3) 小分辨力：0.001μm；
4) 取樣長度：0.08，0.25，0.8，2.5，8mm；
5) 評定長度：N倍取樣長度，N=1，2，3，4，5；
6) 數(shù)字濾波器：國標(biāo)、相位校正、不濾波、高斯；
7) 測量參數(shù)：Ra，Ry，Rp，Rv，Rz，Rq，Rtm，Rt，Rpm，Rvm， Sm，S，D，Sk，Rku，Δq，Δa，λq，R3y，R3z，NR1，NR2，tp；
8) 圖像分析功能：輪廓曲線-NR，輪廓曲線-支承率，幅度分布-支承率， 支承率-圖表等；
9) 輪廓圖形的垂直放大倍率：100，200，500，1000，2000， 5000，10000，20000，50000，100000，200000；
10) 輪廓圖形的水平放大倍率：2，5，10，20，50，100，200，500， 1000，2000，5000；
11) 傳感器測針：金剛石圓錐，錐角90°，針尖半徑5μm;
11. 直接輪廓測量系統(tǒng)
1) 量程：16/160μm；
2) 測量參數(shù)：P a，Pp，Pv，Pz，Pq， Pt，Psk，Pku，PΔq，Psm；
3) 圖像分析功能：曲線-NR，曲線-支承率等。