四探針電阻率測試儀可以測量棒狀、塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率，片狀半導(dǎo)體材料的電阻率和擴(kuò)散層方塊電阻，換上特制的四端子測試夾還可以對低、中值電阻進(jìn)行測量。

    對于半導(dǎo)體材料的電阻率，一般采用四探針、三探針和擴(kuò)展電阻。電阻率是反映半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的重要參數(shù)之一。測量電阻率的方法很多，四探針法是一種廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)方法。它的優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備簡單、操作方便，度高，對樣品的形狀無嚴(yán)格要求。zui常用的是直線型四探針。四根探針的針尖在同一直線上，并且間距相等，都是S，一般采用0.5mm的間距，不同的探針間距需要對測量結(jié)果做相應(yīng)的校正。一般目前的四探針電阻率（電導(dǎo)率）測試儀均已配置厚度的修正，通過厚度數(shù)值的設(shè)置，計(jì)算出不同的樣品厚度對電阻率的影響。

    根據(jù)不同材料特性需要，四探針電阻率測試儀配有多款測試探頭：

    1、球形鍍金銅合金探針探頭，測量柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻；

    2、配合四端子測試夾具，測量電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻；

    3、高耐磨碳化鎢探針探頭，測量硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；

    4、專用探頭可測試電池片等箔上涂層電阻率/方阻。