硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些的硅氫化合物。目前應(yīng)用多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。

硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實現(xiàn)精細(xì)控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷應(yīng)用于微電子、光電子工業(yè)， 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 并且是迄今上的大規(guī)模生產(chǎn)粒狀高純度硅的中間產(chǎn)物。硅烷的高科技應(yīng)用還在不斷出現(xiàn), 包括用于制造陶瓷、復(fù)合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成為許多新技術(shù)、新材料、新器件的基礎(chǔ)。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有寬的自發(fā)著火范圍和強(qiáng)的燃燒能量，決定了它是一種高危險性的氣體。

危害辨識

眼接觸：硅烷會刺激眼睛。硅烷分解產(chǎn)生無定型二氧化硅。眼睛接觸無定型二氧化硅顆粒會引起刺激。

吸入：1.吸入高濃度的硅烷會引起頭痛、惡心、頭暈并刺激上呼吸道。

2.硅烷會刺激呼吸系統(tǒng)及粘膜。過度吸入硅烷會引起肺炎和腎病，這是由于存在結(jié)晶二氧化硅的原因。

3.暴露于高濃度氣體中還會由于自燃而造成熱灼傷。

攝入：攝入不可能成為接觸硅烷的途徑。

皮膚接觸：硅烷會刺激皮膚。硅烷分解產(chǎn)生無定型二氧化硅 。皮膚接觸無定型二氧化硅顆粒會引起刺激。

慢性癥狀：如今不清楚長期暴露于硅烷中對健康的進(jìn)一步影響。

損害器官：未建立

過度暴露造成的病情惡化 ：有皮膚和呼吸道疾病的人暴露在硅烷及其分解物中會加重病情。

致癌性：未被 NTP、OSHA及IARC列為致癌物。