Transpwctor XPR3 氣體分析系統(tǒng)

TRANSPECTOR XPR3的特點

·新設計的離子源使污染的產(chǎn)生zui小化，從而延長使用壽命 和提供更清楚的訊號。

·新型EM在PVD工藝壓強下工作，提供更快速、清晰的數(shù)據(jù)收集和免除FC至EM的轉(zhuǎn)換，簡化數(shù)據(jù)的解譯過程。

·新型加長的四極桿場可提高低質(zhì)量范圍的過濾能力，提高質(zhì)譜儀分辨同位素的靈敏度，從而改善氫的監(jiān)測靈敏度。

    Transpwctor XPR3是新一代的高壓強四極場工藝氣體分析儀。它研發(fā)于先前INFICON系統(tǒng)成功的基礎上，在物理相汽沉積(PVD)檢測中具有無比高的靈敏度、精確度和靈活性。一系列技術(shù)上的突破使輕便型Transpwctor XPR3的工作范圍從20耗乇至超高真空，無需大型負責的壓強轉(zhuǎn)換設備。

TRANSPECTOR XPR3的應用

·PVD工藝模塊

·預清洗模塊

·Non-cluter PVD設備

·Clamped的除氣模塊