CVD-1200 天津1200℃真空CVD系統(tǒng)

爐體結(jié)構(gòu)

雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，有效保證外殼表面溫；

日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好

爐子底部裝有一對(duì)滑軌，移動(dòng)平穩(wěn)

爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端，實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻

支撐兩端安裝油壓緩沖器

爐蓋可開啟，可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料

機(jī)器電源

電壓：AC220V 50/60Hz；額定功率：4KW

爐管

高純石英管，高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)小

尺寸：Φ40/60/80/100*1200mm

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速法蘭，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空

一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷

可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐

包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合

加熱系統(tǒng)

加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2，表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用

加熱區(qū)長度：410mm

恒溫區(qū)長度：200mm

工作溫度：≤1150℃

zui高溫度：1200℃

升溫速率：10℃/min

溫控系統(tǒng)

溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能

30段升降溫程序

測(cè)溫元件：N型熱電偶

恒溫精度：±1℃

混氣系統(tǒng)

三路質(zhì)量流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制

內(nèi)置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥

管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套

每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥

通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量

流量規(guī)格：0~1SLM

流量精度：±1.5%

真空系統(tǒng)

采用雙旋片真空泵，真空度可達(dá)5x10-¹ Torr 

數(shù)顯式真空壓力表

可選高真空系統(tǒng)及真空計(jì)，壓力控制系統(tǒng)等

標(biāo)準(zhǔn)配置

主機(jī)1臺(tái)，說明書、合格證、保修卡各1份

可選配件

混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng)，各種剛玉、石英坩堝，石英管，計(jì)算機(jī)控制軟件，無紙記錄儀，氧含量分析儀。