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XL-80 激光干涉儀

北京科斯儀器有限公司
會員指數(shù): 企業(yè)認證:

價格:電議

所在地:北京

型號:XL-80

更新時間:2023-10-27

瀏覽次數(shù):3262

公司地址:北京經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)榮華南路16號中冀斯巴魯大廈1504

程先生(先生)  

產(chǎn)品簡介

北京XL-80激光干涉儀價格 利用激光作為長度基準,對數(shù)控設備(加工中心、三坐標測量機等)的位置精度(定位精度、重復定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進行測量的測量儀器。激光干涉儀XL-80的激光系統(tǒng),在便攜性、系統(tǒng)精度及動態(tài)測量性能方面獲得顯著提高完成了更輕巧的激光測量及校準。

公司簡介

北京科斯儀器有限公司注冊于北京經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū),是服務于中國境內(nèi)高等院校與科研院所的儀器、設備供應商,是專門代理經(jīng)營歐、美及國內(nèi)Z先進的儀器、設備及技術的進出口公司。愿與中、外同仁廣泛合作, 為中國的教育與科研事業(yè)在更廣范圍、更高層次上提供優(yōu)質(zhì)服務。
展開

產(chǎn)品說明

       北京XL-80激光干涉儀價格

由的激光測量系統(tǒng)制造商出品:激光干涉儀 XL-80

更輕巧的激光測量及校準

激光干涉儀系統(tǒng):主要規(guī)格



  

雷尼紹設計、制造和提供激光干涉儀系統(tǒng)已有二十多年的歷史。其生產(chǎn)的ML10激光干涉儀系統(tǒng)在使用精度和可性方面已成為公認的標準。
    
  激光干涉儀 XL-80系統(tǒng)在便攜性、系統(tǒng)精度及動態(tài)測量性能方面獲得顯著提高。其使用更快捷、方便,并且保留了純粹干涉測量系統(tǒng)的優(yōu)點—雷尼紹激光干涉儀正是憑借這一成熟技術,成為用戶的系統(tǒng)。

    
    
  激光干涉儀 XL-80保留了雷尼紹產(chǎn)品在日常使用中、在緊要之處展現(xiàn)出、可靠性和耐用性等重要優(yōu)點。

 X L 激光測量系統(tǒng)的性能提升,更廣泛地適合各類客戶的測量選擇。新系統(tǒng)比已有系統(tǒng)更輕巧,便攜性更強,使用更方便助您遙遙于同行。
 
 系統(tǒng)組件


該系統(tǒng)的基本組件是一個輕型XL-80激光頭和一個的XC-80補償器系統(tǒng)

 XL-80激光頭    
     XL-80激光頭可以產(chǎn)生非常穩(wěn)定的激光光束,采用的波長可溯源至和標準。

   確保在整個環(huán)境范圍內(nèi),即0 - 40 ºC和650 - 1150毫巴范圍內(nèi),線性測量精度為±0.5 ppm。讀數(shù)以50 kHZ頻率讀取,zui高線性測量速度可達4 m/s,即使在zui高速度下線性分辨率仍可達1 nm。

   
   由于XL系統(tǒng)的所有測量項目(不僅僅是線性測量)均采用激光干涉原理,您可以充分信賴所有的測量精度。 

      

 
   



   
   激光系統(tǒng)可經(jīng)由USB直接與計算機連接,無需單獨的接口。激光系統(tǒng)的標準配置還具有一個輔助模擬信號輸出,該插槽還可以接收觸發(fā)信號輸入,用于數(shù)據(jù)同步采集。正交輸出為工廠設定選項。

    激光頭前部的LED狀態(tài)指示燈顯示激光狀態(tài)和光強,相當于將軟件上的“狀態(tài)顯示”擴展到激光頭上。加上可切換的長距離模式 (40 m - 80 m) 和不到6分鐘的預熱時間等優(yōu)點,令XL-80的使用更快捷方便。

  
  外接開關電源輸入電壓范圍為90 V - 264 V。
 
 
 
系統(tǒng)組成
 
XC-80補償器和傳感器

   XC-80補償器是XL系統(tǒng)測量精度的一個關鍵因素。補償器配備有“智能型傳感器”來處理原始環(huán)境參數(shù),可非常準確地測量空氣溫度、空氣壓力和相對濕度。
   
       
  XC-80和傳感器的設計確保在整個工作條件范圍內(nèi)這些裝置都具有的讀數(shù)。這些裝置非常堅固,能夠承受日常的搬動。
也可以將多三個材料溫度傳感器連接在XC-80補償器上,將線性測量值歸一化為材料溫度為20 °C的標準值。

   

    空氣和材料溫度傳感器均為“智能型”。內(nèi)置微處理器分析并處理傳感器的輸出,再將溫度數(shù)值傳輸給XC-80補償器。這使測量更安全,也是XC-80如此輕便小巧的關鍵原因。

     
   然后,系統(tǒng)會修正激光波長的標稱值,得到一個真實值用于位移計算,基本上消除了由于這些變化而導致的測量誤差。如XC-80裝置的LED狀態(tài)燈所指示,每7秒鐘自動完成一次更新。

    與XL-80激光系統(tǒng)一樣,補償器通過一個USB端口直接連接到計算機上,XC補償器由USB端口直接供電(無需單獨的電源)。

    XC-80僅重490 g,加上XL-80也只有3 kg多一點(包括連接電纜、XL電源和傳感器)。


傳感器性能
范圍
精度
材料溫度
0 ºC -55 ºC
±0.1 ºC
空氣溫度
0 ºC -40 ºC
±0.2 ºC
空氣壓力
650 毫巴-1150 毫巴
±1 毫巴
相對濕度(%)
0% -95% 非冷凝
±6% 相對度

 
系統(tǒng)組件
 
 三腳架和云臺
   
                                                                 除非您使用的是專用的測量臺,否則您可能需要一個三腳架和云臺用于調(diào)節(jié)激光相對于待測軸的位置。通用三腳架已經(jīng)過廣泛的測試,具有穩(wěn)定的可調(diào)基座,而且結(jié)構(gòu)小巧、輕便。
    
        
   XL三腳架云臺在設計上考慮到了XL-80的角度旋轉(zhuǎn)及平移,可以一直固定在激光頭上,易于存放和快速架設。
    
    由于設計周密,XL-80激光系統(tǒng)和光學鏡組還可直接放置在花崗巖工作臺上(無需三腳架云臺)進行坐標測量機 (CMM) 的校準。  
   


   “快速安裝/釋放”機構(gòu)可確保云臺快速安全地固定到三腳架上。對于那些不方便安裝三腳架的應用,例如直接固定在機床工作臺上,則云臺和激光系統(tǒng)也可用M8螺紋的轉(zhuǎn)接頭固定在標準磁性座上。
LaserXL™軟件大增強了XL系統(tǒng)的性能與靈活性
  
     
   功能強大的軟件及內(nèi)容清晰的幫助文件是XL-80系統(tǒng)潛能得以發(fā)揮的關鍵。

 
動態(tài)測量


   LaserXL™動態(tài)測量功能允許以10 Hz至50 kHz的采樣頻率(具有12個默認值)采集數(shù)據(jù)并提供位移、速度和加速度數(shù)據(jù)。

關于實時交替顯示當前位置速度或加速度數(shù)據(jù)的信息,請參考 QuickViewXL™軟件。

這些動態(tài)測量值可以對某些機器誤差特性進行監(jiān)控和分析。例如:

♦ 滾珠絲杠/螺母機構(gòu)的預緊和滯后現(xiàn)象

♦ 位置穩(wěn)定性與光柵性能

♦ 驅(qū)動電機、主軸和其他系統(tǒng)的共振特性

♦ 進給率精度、穩(wěn)定性及細分精度

♦ 控制回路優(yōu)化
    
       
    雙軸測量 
在一些設備中,一個軸由兩個驅(qū)動和兩個反饋系統(tǒng)(如龍門銑床、車床和大型雙光束型坐標測量機)控制。在這種情況下,兩個激光頭與LaserXL軟件結(jié)合使用,具有自動同步采集平行軸數(shù)據(jù)的能力。
    
   雙軸測量軟件為XL™軟件的標準配置。


LaserXL™軟件包括線性、角度、回轉(zhuǎn)軸、平面度、直線度和垂直度測量模塊以及動態(tài)測量功能(見下文)。用戶可為LaserXL™、QuickViewXL™和系統(tǒng)手冊選擇英文/中文或其他多種主要語言*的任何一種。
   XCal-View的分析報告選項符合機器性能檢測的眾多標準,例如ISO、ASME、VDI、JIS和GB/T,并包括內(nèi)容的雷尼紹分析。
標準分析軟件包括生成用于數(shù)控機床控制器的通用補償值選項,顯著提高了機床位置精度補償?shù)姆奖阈浴?br />
 用于實時動態(tài)分析的QuickViewXL™軟件
 
實時顯示線性位移、速度和加速度分析的激光測量數(shù)據(jù)。

QuickViewXL™軟件包簡單易用,界面直觀,它能夠采集、復現(xiàn)和保存來自雷尼紹XL-80激光系統(tǒng)的動態(tài)數(shù)據(jù)。

了解系統(tǒng)的動態(tài)特性,例如加速度、速度、振動、停止時間、共振和減振,對于許多應用都至關重要。這些特性將影響機器的操作能力,例如位置精度、重復性、表面光潔度、工作效率及磨損。

QuickViewXL™是一種理想的研發(fā)工具,因為該軟件為用戶提供以下功能:采集的數(shù)據(jù)可方便地以C S V 文件格式加載到MathCAD、Mathmatica和Excel等支持應用程序中,作進一步分析。也可以將數(shù)據(jù)加載到雷尼紹

XCal-View™軟件中。

♦ 以示波器方式顯示實時數(shù)據(jù)

♦ 數(shù)據(jù)采集率達50 kHz

♦ 支持線性、角度或直線度測量光學鏡組的測量操作

♦ 三種數(shù)據(jù)采集模式:自由運行、單次觸發(fā)及多次觸發(fā)

♦ 距離、速度和加速度顯示模式

♦ 提供1、2、5、10、20、50和100 ms的過濾響應時間

♦振幅、時間及頻率測量光標

♦ 手動縮放、平移和放大功能方便對所選數(shù)據(jù)進行仔細

♦ 分析

♦ 自動縮放選項

采集的數(shù)據(jù)可方便地以C S V 文件格式加載到MathCAD、Mathmatica和Excel等支持應用程序中,作進一步分析。也可以將數(shù)據(jù)加載到雷尼紹XCal-View™軟件中。
 系統(tǒng)性能

如果沒有可靠準確的波長補償,很容易導致20 ppm - 30 ppm的誤差。


±0.5 ppm 線性測量精度在整個環(huán)境工
作條件范圍內(nèi)得到認證 
1 nm 線性分辨率(即使在
zui高速度下)

4 m/s zui高移動速度

7 s 每7秒自動更新環(huán)境補償

50 kHz 動態(tài)采集頻率

80 m 線性測量距離為標準設定
 大多數(shù)激光測量中的zui大不確定度是由環(huán)境條件與標稱值之間的差異引起的(空氣溫度、空氣壓力、相對濕度),即使環(huán)境條件的微小變化也會改變激光波長和相關測量讀數(shù)。例如,下列變化會使激光波長增加0.25 ppm(百萬分之一):

♦ 空氣溫度升高0.26 °C
♦ 空氣壓力下降0.93毫巴

 當空氣溫度、相對濕度、和空氣壓力與標稱值之間的誤差影響組合到一起,可能導致20-30 ppm的測量不確定度(即使測試條件保持穩(wěn)定也不例外)。
 

   雷尼紹使用其XC-80環(huán)境補償單元和環(huán)境傳感器對激光波長進行補償。

   激光干涉儀XL-80補償系統(tǒng)和傳感器能夠在整個系統(tǒng)工作范圍內(nèi)保持精度。因此,在0 - 40 ºC及整個空氣壓力范圍內(nèi),可以保持±0.5 ppm的線性測量精度(參閱與同行系統(tǒng)的圖形比較)。
 
 系統(tǒng)優(yōu)點

其他影響精度的因素

♦ 激光穩(wěn)頻精度 – 通過熱控制技術將激光管長度變化控制在幾納米范圍內(nèi),達到3年內(nèi)精度為±0.05 ppm。

♦ 分離式干涉鏡 – 雷尼紹使用遠控干涉鏡,而不是安裝在激光頭上或內(nèi)部的干涉鏡,以避免熱漂移。

♦ 保證所有項目測量精度 – 激光線性位置測量精度只是計量解決方案的一部分。您也可以用XL-80系統(tǒng)采集并分析線性、角度、直線度、垂直度、平面度及回轉(zhuǎn)軸運動,所有測量都以可溯源線性測量為基礎。
 

測量歸一化

為對熱膨脹進行補償,XC-80裝置也可從多3個材料溫度傳感器上接收數(shù)據(jù)。這些傳感器放置在被測機床的適當位置上,將所有讀數(shù)歸一化為20 ºC的基準溫度。執(zhí)行線性測量,尤其是在大型機床或高膨脹材料制造的機床上執(zhí)行線性測量時,熱補償具有特別重要的意義。

設計保證精度

我們相信,您一定了解我們優(yōu)異性能表現(xiàn)背后的堅實技術基礎,讓您確信XL-80可在精度要求高的場合一如既往地為您提供測量。

雷尼紹的精度指標是根據(jù)公認的測量不確定度計算程序 (EA - 4/02) 得出的激光穩(wěn)頻精度、傳感器輸出以及所有影響終測量結(jié)果的關鍵參數(shù)和計算值??商峁┗诠贾笜说恼`差預算摘要。

系統(tǒng)總體精度達到公認的95% (k = 2) 的置信度,并包含運行過程中的熱漂移修正量。
 經(jīng)過驗證的現(xiàn)場性能

目前,的安裝使用數(shù)量已達數(shù)千套,我們的記錄顯示雷尼紹的激光系統(tǒng)在不斷滿足各種條件下的使用要求。這種性能水準已無數(shù)次得到第三方測試(包括實驗室)的驗證。
 使用和設定簡單

運輸方便,設定和使用快捷,減少了用戶的等待時間,增加了可利用的測量時間。

• 預熱時間短(少于6分鐘)

• 激光系統(tǒng)與云臺設計為可一起存放

• 云臺可從三腳架上快速地拆卸

• 減少了部件和連接裝置。激光系統(tǒng)和補償器通過USB連接至計算機;無需單獨的接口和復雜的設定

• XC-80補償器通過USB連接供電,因此不需要外部電源。

靈活性和操作簡便性

• 可以在標準 (40 m) 和長 (80 m) 距離模式之間“切換”

• 模擬輸入/輸出端口允許模擬和正交信號輸出(工廠選項)及觸發(fā)信號輸入

• 易于讀取的狀態(tài)及信號強度LED指示燈 

• 以標準或無線鼠標觸發(fā)遠程手動數(shù)據(jù)采集

XL-80激光系統(tǒng)和XC-80補償器體積很小,整個系統(tǒng)(除去三腳架)現(xiàn)在可以裝入一個真正便攜的“便攜箱”中。整套線性系統(tǒng)裝在便攜箱中后僅重12 kg左右。即使加上可選購的角度光學鏡組和附件,重量也只有15 kg多點;如此便攜的“檢測和校準”系統(tǒng),令其他產(chǎn)品無法相媲美。


基本系統(tǒng)便攜箱可容納
整個線性和角度系統(tǒng)* 



系統(tǒng)的“ 便攜箱” 和額外
的三腳架便攜箱十分輕便

     設計
  XL系統(tǒng)根據(jù)激光和非激光用戶反饋的廣泛意見進行設計,既突破了當前系統(tǒng)限,又能預期未來設計要求。XL-80的設計能夠隨用戶未來需求的變化而更新和發(fā)展。
 
主要規(guī)格

 
XC-80
尺寸( 重量)
135 mm x 58 mm x 52 mm (490 g)
電源
經(jīng)由USB 通過計算機供電
內(nèi)部傳感器
空氣壓力相對濕度
外接傳感器
1個空氣溫度1 -3個材料溫度
接口
內(nèi)置USB 通訊端口,無需單獨接口
XC 補償器以組件的形式提供,包括:
• XC 補償單元
• 空氣溫度傳感器組件
• 材料溫度傳感器組件
• USB 電纜
• 系統(tǒng)手冊( 光盤)

 





 







激光頭
XL-80


 
尺寸(重量)
214 mm x 120 mm x 70 mm (1.85 kg)
電源
外部電源,90 V AC -264 V AC 自動適應
系統(tǒng)測量能力
線性、角度(加回轉(zhuǎn)軸)、平面度、直線度和垂直度
激光輸出

 
接口
內(nèi)置USB 連接,無需單獨接口
TPin (觸發(fā)信號)
正交信號輸出
是(工廠設定,可選)
模擬電壓輸出
信號強度LED 指示燈
























XL 激光系統(tǒng)以組件的形式提供,包括:
• XL 激光頭( 配標準光閘)• USB 電纜
• 電源和電纜
• 輔助輸入/輸出接頭• 系統(tǒng)手冊( 光盤)










系統(tǒng)便攜箱
和三腳架

 
 
 
便攜箱1
( 基本系統(tǒng)箱)
便攜箱2
( 全套系統(tǒng)箱)
便攜箱尺寸
(L x H x D)
560 mm x
351 mm x
229 mm
560 mm x
455 mm x
265 mm
系統(tǒng)重量* 12 kg -17 kg 16 kg -25 kg
  通用三腳架本體
折疊后外形尺寸
( 重量)
Ø160 mm x 640 mm
(3.9 kg)
工作高度范圍
( 至激光輸出光束)
zui?。?40 mm
zui大:1560 mm ( 柱朝上)
三腳架便攜箱 防護尼龍袋**
便攜箱尺寸 670 mm x 170 mm x 170 mm
* 系統(tǒng)裝入便攜箱后的重量取決于的選項多少
較輕重量是指運輸箱裝載如下選項的重量:
便攜箱1: 線性XL 及XC 系統(tǒng)
便攜箱2: 線性、角度和直線度XL 及XC 系統(tǒng)
** 有硬殼三腳架便攜箱供選購

































系統(tǒng)性能  
線性測量距離 80 m
線性測量精度 ±0.5 ppm
激光穩(wěn)頻精度 ±0.05 ppm
分辨率 1 nm
zui高移動速度 4 m/s*
動態(tài)采集頻率 10 Hz -50 kHz**
預熱時間 < 6 分鐘
環(huán)境溫度 0 ºC -40 ºC
環(huán)境傳感器  
 
范圍
精度
材料溫度
0 ºC -55 ºC
±0.1 ºC
空氣溫度
0 ºC -40 ºC
±0.2 ºC
空氣壓力
650 毫巴-1150 毫巴
±1 毫巴
相對濕度(%)
0% -95% 非冷凝
±6%相對濕度
* 1.6 m/s(80 nm 正交);0.2 m/s(10 nm 正交)** 20 MHz , 正交模式





























其他  
保修 激光3年( 也可選擇5年)
證書 XL 、XC 、空氣溫度和材料溫度傳感器。證書符合ISO 17025 標準要求。
質(zhì)量體系 符合GB 17421 、ISO 9001 、BSI 標準







測量光學鏡組
 
使用與雷尼紹的ML10系統(tǒng)一樣的光學鏡組,包括線性、角度(包括回轉(zhuǎn)軸)、直線度、垂直度和平面度測量鏡組。所有測量均采用干涉原理測量,因此也使用了可溯源至標準波長的激光波長。
 光學鏡組附件

    LS350激光準直輔助鏡


    這個獨特的光學儀器產(chǎn)品方便了水平面和垂直面上的激光光束準直,使激光準直僅僅是簡單的一步操作。激光準直輔助鏡提高了線性、角度和直線度測量調(diào)整速度,無論測量是在激光頭光路成直線還是在90°位置上進行。此光學儀器還可與線性/角度測量組合配件以及旋轉(zhuǎn)/固定轉(zhuǎn)向鏡兼容。激光準直輔助鏡使用緊固螺釘簡便地安裝在測量光學鏡組上。
                     
   其他同類系統(tǒng)有的使用電子標靶來測量俯仰、扭擺和直線度誤差,但經(jīng)常會影響測量精度和穩(wěn)定性。


     
調(diào)整角度范圍
±35 mm/m
±2°
軸向量程
0 m – 10 m
0 ft – 33 ft


   旋轉(zhuǎn)鏡

  

   這種旋轉(zhuǎn)鏡可以作為ISO 230-6ANSI B5.54對角線測量的校準輔助設備。它對于測量斜床身車床也很有用。緊固螺釘使旋轉(zhuǎn)鏡能夠簡便地安裝在測量光學鏡組上。



  固定轉(zhuǎn)向鏡 
    
   這種鏡子可以使激光光束進行90º轉(zhuǎn)折。與旋轉(zhuǎn)鏡類似,它可以安裝在測量光學鏡組上,協(xié)助光學鏡組的設定,主要用于待測軸的通道空間受限的場合。
       
      
   進行回轉(zhuǎn)軸測量,可使用XR20-W無線型回轉(zhuǎn)軸校準裝置。在與XL-80系統(tǒng)和角度光學鏡組配合使用時,可進行回轉(zhuǎn)軸全自動校準,精度達±1角秒。





測量規(guī)格




              線性
  
規(guī)格
公制
英制
線性測量長度范圍*
0 m – 80 m
0 in – 3200 in
測量精度(XC-80 補償器)
±0.5 ppm (百萬分之一)
分辨率
0.001 μm
0.1 μin
* 0 m -40 m( 標準) 。
線性( 上述) 和其他測量模式的性能規(guī)格的置信度達到95% (k = 2), 并在整個環(huán)境操作范圍內(nèi)有效。












                   角度

規(guī)格
公制
英制
軸向量程 0 m -15 m 0 in -49 ft
角度測量范圍 ±175 mm/m ±10º
角度精度 ±0.002A ±0.5 ±0.1M μm/m ±0.002A ±0.1 ±0.007F角秒
分辨率 0.1 μm/m 0.01 角秒
A = 顯示的角度讀數(shù)
M = 測量距離, 單位為米;F = 測量距離, 單位為英尺












 



 
                  回轉(zhuǎn)軸

規(guī)格
公制
英制
角度目標量程
達25 轉(zhuǎn)
測量精度(0° 時為零)
±5 μm/m
±1角秒
軸zui高(<5° 軸步距內(nèi)旋轉(zhuǎn))轉(zhuǎn)速(>5° 軸步距旋轉(zhuǎn))
10 rpm
藍牙范圍
通常為5 -10 米
方向
任意














                     平面度

規(guī)格
公制
英制
軸向量程 0 m -15 m 0 in -590 in
平面度測量范圍 ±1.5 mm ±0.06 in
精度 ±0.002A ±0.02 M2 μm ±0.002A ±0.08 F2 μin
分辨率 0.01 μm 1 μin
橋板跨距 50 mm 、100 mm 和150 mm 2 in 、4 in 和6 in ( 大約)
A = 顯示的平面度讀數(shù)
M = 對角線長度, 單位為米;F = 對角線長度, 單位為英尺















                         直線度

規(guī)格
公制
英制
軸向量程
( 短距離)
( 長距離)
0.1 m -4.0 m
1 m -30 m
4 in -160 in
40 in -1200 in
直線度測量范圍
±2.5 mm
±0.1 in
精度
    ( 短距離)
           ( 長距離)
±0.00 ±0.5 ±0.15 M2 μm ±0.02 ±5 ±0.015 M2 μm
±0.00 ± 20 ±0.5 F2 μin ±0.02 ±200 ±0.05 F2 μin
分辨率
 ( 短距離)
           ( 長距離)
0.01 μm
0.1 μm
1 μin
10 μin
A = 顯示的直線度讀數(shù)M = 測量距離, 單位為米;F = 測量距離, 單位為英尺;



















                          垂直度
 
規(guī)格
公制
英制
范圍
±3/M mm/m
±2000/F 角秒
軸向量程  (短距離)(長距離 ) ±0.00 ±2.5 ±0.8 M μm/m ±0.02 ±2.5 ±0.08 M μm/m ±0.00 ±0.5 ±0.05 F角秒±0.02 ±0.5 ±0.005 F角秒
分辨率  
0.01 μm/m
0.01 角秒
A = 顯示的垂直度讀數(shù)
M = 長軸測量距離, 單位為米;F = 測量距離, 單位為英尺











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